第823章 追光行动（3）

通过修改各种参数，寻找最优的参数组合来修正掩膜板的图形和光源形状，来提升光刻的质量。

这种模拟仿真的思路类似造飞机的时候需要经过很多次的风洞实验，都通过之后才能进行真正的试飞，否则既危险又成本高昂。

计算光刻已经成为现代光刻技术研发的核心和最重要的环节之一。”

那边的徐端颐也补充着，“量测，就是进行芯片的缺陷检测，判断芯片是否合格。

一个晶圆的制作可能包含近百次的曝光，由于每次曝光的间隔都需要对晶圆进行移动调整，为了保证移动的稳定和精准，避免出现小至几纳米的误差导致芯片报废，就需要不断的对晶圆在纳米尺度做量测，并且实现校正和结果的反馈，从而不断的提升良率……”

徐端颐的话还没说完，就被卿云展示出来的PPT给打断了，而后一脸便秘的望着台前正无良笑着的少年。

狗日的！

你便宜老师科普的时候你不打断，我特么说话的时候你就来打脸是吧！

手里的茶杯盖子都想呼在那臭屁小子的脸上了。

太不尊老了！

台上的卿云嘿嘿的笑着，“集成电路制造的主要流程大概是，OPC、SMO计算光刻-涂胶-曝光-显影-刻蚀-离子注入-光刻胶移除-沉积-下一层制程-量测检验。

这十大工序，如同上面光刻机器的七大系统，我都进行了考虑和安排……”

徐端颐的内心虽然被卿云突如其来的PPT展示打断而感到有些尴尬，但随即他的心中却涌起了一股莫名的欣喜。

他心中暗自思忖：“这小子，确实有两把刷子。这种打脸，打得我舒坦。这说明了，他确实对各个环节都了如指掌，并且一一做了预案。”

徐端颐望着卿云的眼神中，不禁流露出了赞许的神色。

他知道，卿云的准备充分，意味着整个项目的成功概率将会大大提高。

在科研领域，一个详尽的预案往往能够决定一个项目能否顺利进行。

这种被后辈以实力打脸的感觉，让他既感到有些没面子，但同时也感到欣慰。

他明白，他们已经老了，甚至这里坐着的不少人，其实已经到了油尽灯枯的年纪。

科研的未来需要依靠这些有准备、有远见的年轻人，而卿云，无疑是其中的佼佼者。

“小卿，你这准备……做得好！”

徐端颐毫不掩饰自己的赞赏，他的声音中透露出一丝宽慰，“有你这样的年轻人在，我们这些老骨头也就放心了。”

云帝微微一笑，他知道，这些前辈们的认可，是他前行路上最宝贵的支持。

他点了点头，认真地说道，“徐老爷子，您放心，我会尽我所能，确保每一步都走得稳健。”

那边一直没有说话的王守觉，此时皱着眉头问着，“小卿，我有个疑问，你能不能给我解惑？”

给大佬解惑？

面对华国半导体界的‘小王先生’，云帝自然是不敢这么托大的，请‘小王先生’但说无妨。

王守觉也没有客气什么，“小卿，你在开始就一直在向我们灌输商业循环的概念。

但是，涉及到光刻机的时候，我感觉……你仿佛并没有考虑光刻机本身的商业化。

因为你的讲解和方案里面，第一我没有看见你让小徐去规避专利技术，第二我也没有看见方案里面有集成化的参与。

你是不是漏了什么？”

说到这里，他赶紧摆了摆手，解释了一句，“我不是在质疑你的纲领和方案，只是觉得有些奇怪。呃……我不知道你是不是遗漏了。”

王守觉这么一说，倒是点醒了众多大佬，分分翻看着方案。

这个确实有瑕疵了。

光刻机最难的一步，便是整合。

卿云在台上无奈的笑了笑，“你们不用翻了，我就没有考虑过光刻机商业化的问题。”

他耸了耸肩膀，“各位前辈，你们认为我们造出来光刻机后，短期内能出口吗？”

说到这里，他双手一摊，“这都不是鸡和蛋的问题了。我认为，以终为始，只要我能把芯片造出来，里面采用的什么技术，我不关心。

反正我又不卖光刻机。

而光刻机器是什么形态的我不介意，哪怕你们造出来的，跟个足球场那么大，我也无所谓的。”

众人闻言，目瞪口呆。

而重生的云帝却觉得有点寂寞。

“诸位前辈，你们有没有注意到，除了浸没式光刻机外，我提及光刻机时，后面都加了个‘器’字。

我再说明白一点，哪怕你们造出来的光刻机器不能像ASML、尼康佳能的光刻机一样可以移动都行，我直接在机器旁边建厂。”

华清大学的SSMB光刻工厂方案，放在西方是垃圾，但是结合华国的国情，却是一条最正确的路。

光刻机的小型化是为了商业化，以便运到各个生产厂里面去。

但是，在云帝看来，将光刻工厂国有化，变成一个基础建设设施，是最符合国情的。

如此，芯片这种未来战备性物质，国家也不必担心过渡商业